真空度測試儀是電力系統(tǒng)中普遍使用的高壓電器，其核心部件是真空滅弧室，由于滅弧室是以真空條件作為工作基礎的，所以它不象油開關(guān)，SF6開關(guān)那樣容易檢測其質(zhì)量。傳統(tǒng)上，真空斷路器用戶判斷滅弧室真空度的方法是工頻耐壓法，這種方法只能粗略判斷真空度嚴重化的滅弧室。
真空度測試儀常見的有破壞性測試方法和無損檢測方法。
破壞性測試方法常見的是采用針頭刺入容器頂空，通過壓力（真空度）傳感器探測獲取真空度，該測試方法在一定程度上會受到管路中空氣的影響，可以用于真空度的粗略抽查，在小頂空容器中表現(xiàn)尤為明顯。典型的應用是用于粗略的進行密閉容器完整性測試（CCIT）評估，方法是將高真空的西林瓶（抽真空到接近0.1mbar）留樣半年到1年，然后觀察瓶內(nèi)真空度。如果里面還有一定真空度，即里面的壓力是微負壓，說明瓶子是不漏的；相反，如果里面的壓力是常壓，說明瓶子是漏的。
如果是用于工藝的優(yōu)化和標準的制定，通常會采用無損的真空度測試方法。無損的真空度測試方法常見的是激光法（即調(diào)頻光譜法（FMS）），它的基本原理是空氣中的O2、水汽、CO2會在一定波段下有激光吸收，并且會得到吸收的圖譜,吸收的激光量(在圖中是峰高或振幅)和物質(zhì)的含量成正比，其中水汽的激光吸收圖譜中的峰寬（波峰和波谷之間的橫向距離）和頂空總壓力成正比。因此，采用激光法能夠?qū)θ萜鬟M行無損真空度測試。激光法對真空度的小檢出限大約為7mbar，因此能測試出接近真實的真空度。
